光學

開發和製造用於X射線束整形的高精度毛細管光學系統是德國Fischer公司的一項技術核心能力。這些部件是Fischer研製的用於微結構測量的現代微束X射線螢光設備的基礎

薄塗層和極薄塗層的測量以及複雜多層系統的分析：

• 矽片和PCB上的鍍層
• 焊盤中銀含量的測量
• 貼片元件
• 插入式觸點
• 導線框架
• 微量元素和膜層厚度映射

用於X射線束聚焦的高精度毛細管光學器件的開發和製造是我們的核心技術能力之一。由於這些元件，Helmut Fischer的XRF儀器能夠在最小的樣件和微結構上進行測量。作為全球僅有的兩家製造商之一，我們確保創新和最高的測量精度。

除了使用高亮度的微焦射線管和高效的能量色散探測器外，多毛細管光學的應用對於XRF光譜儀的最佳測量性能也是決定性的。多毛細管將激發光束非常高強度的集中在一個的小光斑上，從而顯著縮短測量時間。奈米技術和微電子學領域的現代發展正在增加對更高空間解析度的需求。長期以來，X射線束高能範圍內的空間解析度被所謂的光暈效應所影響。這種影響導致樣品表面上測量點的橫向解析度明顯降低，從而導致定量材料分析中的成分測量錯誤。由於我們多年的經驗和有效的開發工作，我們不僅能夠減少光暈效應，而且能夠生產無光暈的多毛細管。

在Helmut Fischer，您將受益於近30年來在開發適用於廣泛應用的優化多毛細管方面的專業知識。光學原理基於玻璃毛細管內光滑表面上的全外反射效應。全反射的臨界角取決於X射線束的能量、反射材料的密度和反射表面的粗糙度。由於玻璃具有非常低的粗糙度，因此它是製造X射線毛細管光學器件的有效材料。毛細管光學在毛細管內表面上的反射次數方面有所不同。我們在Fischer產品組合中有特定的設計：圓柱形、橢圓形或拋物線形的單毛細管以及各種多毛細管。表中給出了使用毛細管光學的各種X射線分析方法的概述：

橢圓或拋物線形狀的單毛細管是具有獨特全反射的光學元件。橢圓形狀毛細管焦點的大小取決於光源的大小和形狀以及毛細管的製造精度。拋物線形狀的毛細管將平行光束聚焦到焦點或平行於點源的發散光束。他們將同步加速器光束聚焦在一個非常小的點上，最多可達250奈米。